Ausschreibungen und Aufträge: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke - DE-München Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke Dokument Nr...: 164264-2021 (ID: 2021040209331867440) Veröffentlicht: 02.04.2021 * DE-München: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 2021/S 65/2021 164264 Bekanntmachung vergebener Aufträge Ergebnisse des Vergabeverfahrens Lieferauftrag Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber I.1)Name und Adressen Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf und Gerätewirtschaft C2 Postanschrift: Hansastraße 27 c Ort: München NUTS-Code: DE212 München, Kreisfreie Stadt Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland E-Mail: [6]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse(n): Hauptadresse: [7]https://vergabe.fraunhofer.de/ I.2)Informationen zur gemeinsamen Beschaffung Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers Andere: Forschung und Entwicklung I.5)Haupttätigkeit(en) Andere Tätigkeit: Forschung und Entwicklung Abschnitt II: Gegenstand II.1)Umfang der Beschaffung II.1.1)Bezeichnung des Auftrags: E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage Referenznummer der Bekanntmachung: E_064_287097 II.1.2)CPV-Code Hauptteil 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke II.1.3)Art des Auftrags Lieferauftrag II.1.4)Kurze Beschreibung: Beschichtungsanlage. II.1.6)Angaben zu den Losen Aufteilung des Auftrags in Lose: nein II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) Wert ohne MwSt.: 0.01 EUR II.2)Beschreibung II.2.2)Weitere(r) CPV-Code(s) 42990000 Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke II.2.3)Erfüllungsort NUTS-Code: DED21 Dresden, Kreisfreie Stadt NUTS-Code: DED2 Dresden Hauptort der Ausführung: Fraunhofer IKTS Winterbergstraße 28 1277 Dresden II.2.4)Beschreibung der Beschaffung: 1 Stück Beschichtungsanlage Wir konzentrieren uns bei unserer Suche auf ein gutes ISO9001-zertifiziertes 200-mm-System, das in der Lage ist, Al2O3-, SiO2-, High-k- und Metallnitride gemäß PEALD gemäß diesem Dokument abzuscheiden. Wir erwarten ein PEALD-Kit für das System, das eine schnelle Gasumschaltung ermöglicht. Es ist auch wichtig, dass die Ausgasung von Kammerwänden während der Verarbeitung im PEALD-Modus minimiert wird. Deshalb spezifizieren wir einen Heißwandreaktor mit Wandtemperaturen von bis zu 450 ^o C. Wir möchten die Probentemperatur in einem weiten Temperaturbereich steuern (von Raumtemperatur bis zu erhöhten Temperaturen, Temperaturbereich von 30 ^o C bis +450 ^o C). Wir legen Wert auf Kammerreinheit, um die Prozessstabilität und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Dazu betrachten wir einen Heißwandreaktor und eine effiziente Kammerreinigung. Wir erwarten eine ladbare Wafergröße von mindestens 200 mm. Wir betrachten die folgenden Gase: Ar, N2, O2, O3, H2, NH3. Eine Option für die In-situ-Ellipsometrie (hierfür benötigen wir 2 gekippte optische Ports) ist erforderlich. Wir benötigen eine halbautomatische Lastsperre im System mit manueller Beladung der Wafer mit einer Vakuumzange. Das Werkzeug wird im Reinraum des Fraunhofer IKTS in Dresden (Winterbergstraße 28) installiert und erleichtert. II.2.5)Zuschlagskriterien Qualitätskriterium - Name: Technische Ausführung des Produkts / Gewichtung: 55,00 Qualitätskriterium - Name: Lieferzeit / Gewichtung: 10,00 Preis - Gewichtung: 35,00 II.2.11)Angaben zu Optionen Optionen: nein II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm, das aus Mitteln der EU finanziert wird: ja Projektnummer oder -referenz: Es handelt sich hier um EFRE-Mittel. II.2.14)Zusätzliche Angaben Abschnitt IV: Verfahren IV.1)Beschreibung IV.1.1)Verfahrensart Offenes Verfahren IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung oder zum dynamischen Beschaffungssystem IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA) Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: ja IV.2)Verwaltungsangaben IV.2.1)Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren Bekanntmachungsnummer im ABl.: [8]2021/S 021-049163 IV.2.8)Angaben zur Beendigung des dynamischen Beschaffungssystems IV.2.9)Angaben zur Beendigung des Aufrufs zum Wettbewerb in Form einer Vorinformation Abschnitt V: Auftragsvergabe Auftrags-Nr.: 1 Bezeichnung des Auftrags: E_064_287097 StLa-KauAnj Beschichtungsanlage Ein Auftrag/Los wurde vergeben: ja V.2)Auftragsvergabe V.2.1)Tag des Vertragsabschlusses: 29/03/2021 V.2.2)Angaben zu den Angeboten Anzahl der eingegangenen Angebote: 3 Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1 Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1 Anzahl der elektronisch eingegangenen Angebote: 3 Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern vergeben: nein V.2.3)Name und Anschrift des Wirtschaftsteilnehmers, zu dessen Gunsten der Zuschlag erteilt wurde Offizielle Bezeichnung: Picosun Oy Postanschrift: Tietotie 3 Ort: Espoo NUTS-Code: FI1 Manner-Suomi Postleitzahl: 02150 Land: Finnland E-Mail: [9]christoph.hossbach@picosun.com Der Auftragnehmer ist ein KMU: ja V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses (ohne MwSt.) Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0.01 EUR V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen Abschnitt VI: Weitere Angaben VI.3)Zusätzliche Angaben: VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren Offizielle Bezeichnung: Vergabekammer Postanschrift: Villemombler Straße 76 Ort: Bonn Postleitzahl: 53123 Land: Deutschland VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt Offizielle Bezeichnung: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. Postanschrift: Hansastraße 27c Ort: München Postleitzahl: 80686 Land: Deutschland E-Mail: [10]einkauf@zv.fraunhofer.de Internet-Adresse: [11]https://www.fraunhofer.de VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung: 29/03/2021 References 6. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 7. https://vergabe.fraunhofer.de/ 8. https://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:049163-2021:TEXT:DE:HTML 9. mailto:christoph.hossbach@picosun.com?subject=TED 10. mailto:einkauf@zv.fraunhofer.de?subject=TED 11. https://www.fraunhofer.de/ -------------------------------------------------------------------------------- Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for: The Office for Official Publications of the European Communities The Federal Office of Foreign Trade Information Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de