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Öffentliche Ausschreibungen

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Ausschreibung: AFM Upgrade - DE-Frankfurt (Oder)
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Softwarepaket und Informationssysteme
Dokument Nr...: 883678-2020 (ID: 2020071014571942782)
Veröffentlicht: 10.07.2020
*
  AFM Upgrade
IHP-2020-057: AFM Upgrade 08.07.2020
UVGO Öffentliche Ausschreibung
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 1/5
08.07.2020 10:34 Uhr - VMS 9.2.1.1  2009 - 2020 cosinex GmbH
Bekanntmachung UVgO: AFM Upgrade
Vergabenummer IHP-2020-057
Bezeichnung AFM Upgrade
Art der Vergabe Öffentliche Ausschreibung
Vergabe- und
Vertragsordnung
UVgO
Art des Auftrags Lieferleistung
Auftraggeber
Adresse der zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Kontaktstelle Beschaffung
Zu Händen Frau Sophie Rohner
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Telefon +49 335-5625-359
Fax +49 335-5625-25359
E-Mail rohner@ihp-microelectronics.com
Adresse der den Zuschlag erteilenden Stelle
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, bei der die Angebote einzureichen sind
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können
Siehe "zur Angebotsabgabe auffordernden Stelle"
Allgemeine Fach- und Rechtsaufsicht
Keine Adressinformation vorhanden.
Auftragsgegenstand
Leistungsbeschreibung
Art und Umfang der Leistung Leistungskriterien AFM-Upgrade
To increase the functionality of our existing AFM (atomic force microcopy) system
(namely, "DIMENSION ICON SYSTEM" from Bruker France S.A.S) we require
an AFM upgrade comprising an interchangeable application module enabling
scanning spreading resistance microcopy including the software capabilities for the
simultaneous acquisition of multidimensional data sets which can be integrated in
the existing acquisition software from Bruker, an required set of AFM-probe tips
to ensure high experimental flexibility, suitable sample holders for cross-sectional
measurements and a multi-sample mounting plate.
The above AFM upgrade must be fully compatible and integrable with the
Dimension Icon System, including its control and acquisition software, from Bruker
currently set up at IHP. For further technical details on the existing AFM system
please refer to the manufacture"s website or contact the manufacture directly.
(https://www.bruker.com/de/products/surface-and-dimensional-analysis/atomicforce-
microscopes/dimension-icon/overview.html)
1 Application Module Scanning Spreading Resistance Microscopy (SSRM)
Measurements capabilities Suitable to generate 2D images of resistance variations
measured between probe tip and sample surface
Suitable to examine cross sections
Suitable to image conductivity variations over a wide range from semiconductors
(e.g. Si, Ge, SiGe) to non-semiconductor and insulating materials
Applied bias options From mV to 10V
IHP-2020-057: AFM Upgrade 08.07.2020
UVGO Öffentliche Ausschreibung
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 2/5
08.07.2020 10:34 Uhr - VMS 9.2.1.1  2009 - 2020 cosinex GmbH
Range of Logarithmic current amplifier 10pA to 0,1mA
Imaginable carrier concentration range 1016 to 1020 carriers/cc, the module should
be able to cover and display the entire range of dopant densities within a single
image on a single data scale without parameter readjustments (such as gain
switches)
Line-by-line reproducibility Across a dopant staircase the variations in the
measured resistance should be within a few percent
Achievable spatial resolution On the order of 1nm or below (demonstrated on a
cross-sectioned buried oxide layer)
Cantilever holder Suitable for probes optimized for SSRM
Software Integrated acquisition and analysis software with existing control software
from Bruker, operating in Windows environment
2 SPM cross-sectional sample holder
3 sample holders Suitable to hold a wafer cross-section upright for edge inspection
and compatible with existing AFM (see top description)
3 Software package for advanced data acquisition of Scanning Spreading
Resistance Microscopy and Tunneling/Conductive AFM Microscopy
Acquisition Nanoelectrical and nanomechanical measurement data Provides
nanoelectrical and nanomechanical spectra at every point
User-defined dwell times to capture I-V curves, log(R)-V spectrum, , Force,
Stiffness, Adhesion and Elastic Modulus at every pixel
Advanced quantitative force volume and
spectroscopy with mapping capability
Compatible with ICON-PFTUNA application module from Bruker
Windows 10 compatible
Fully integrable with the existing AFM software environment from Bruker
4 Multi sample plate/Chuck
Sample placement Permits placement of minimal 10 samples with <50mm spacing
between each sample
Compatible with existing AFM
(see top description)
Each sample location with options for magnetic holders
4 Set of AFM-probes and holders
5 x probe holders Compatible with the new probes and the existing AFM (see top
description)
Suitable for measurements in ScanAsyst mode, Tapping mode and contact mode
Probe requirements Compatible with the new probe holders, the existing Bruker
DAFMCH probe holders and the AFM
Resonance frequency, spring constants and tip diameters identical or similar to the
probe models provided by Bruker for the Dimension Icon AFM
Relevant parameters of example probe models for required applications can be
publically accessed on
https://www.brukerafmprobes.com/
Probe quantity Example model Suitable Application/AFM Modi
160 Scan Asyst Air Standard ScanAsyst mode
70 OTESPA R3 Standard Tapping mode
70 VTESPA-300 Advanced Tapping mode (sharper, higher spring constant k =
30-50 N/m)
30 RESPA-40 Standard contact mode
50 SAA-HPI-SS High resolution ScanAsyst mode
5 TESP-SS Conductive diamond tip with k = 1 - 5 N/m for standard resolution
5 PR-SSP10 Conductive diamond tip with k = 1 - 5 N/m for high resolution
5 AD-2.8-AS Conductive diamond tip with k = 30 - 50 N/m for standard resolution
5 AD-2.8-SS Conductive diamond tip with k = 30 - 50 N/m for high resolution
50 AD-40-AS High resolution Tapping mode
20 AD-40-SS High resolution contact mode
20 DDLTESP V2 Broad tip for mechanical measurements
5 NM-R-C Sharp tip for mechanical measurements
25 RTESPA-300-30 Tip with measured radius, k = 30 - 50 N/m
25 RTESPA-300-30 Tip with measured radius, k = 100 - 300 N/m
20 MLCT-BIO-DC Tip for standard measurements on biological samples
20 PEAKFORCE-HIRS-F-B Tip for high resolution measurements on biological
samples
5 Service
IHP-2020-057: AFM Upgrade 08.07.2020
UVGO Öffentliche Ausschreibung
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 3/5
08.07.2020 10:34 Uhr - VMS 9.2.1.1  2009 - 2020 cosinex GmbH
Installation & Training on site 3 Days
Erfüllungsorte
Haupterfüllungsort
Bezeichnung IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift Im Technologiepark 25
Ort 15236 Frankfurt (Oder)
Ausführungsfristen
Dauer (ab Auftragsvergabe) 1 Monat(e)
Fristen
Bezeichnung Datum, ggf. Uhrzeit
Frist zur Einreichung von Aufklärungsfragen (u.a.) 29.07.2020
Angebotsfrist 30.07.2020 12:00 Uhr
Zuschlags-/Bindefrist 28.08.2020
Wertung
Wertungsmethode der Vergabe
Wertungsmethode Wirtschaftlich günstigstes Angebot gemäß folgender Kriterien
OZ Bezeichnung Gewichtung
0 Preis 40%
1 Funktionalität 30%
2 Qualität 30%
Lose
Etwaige Vorbehalte wegen Teilung in Lose, Umfang der Lose und mögliche Vergabe der
Lose an verschiedene Bieter
Die Vergabe ist nicht in Lose aufgeteilt.
Nachweise / Bedingungen
Auflagen zur persönlichen Lage
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Auflagen zur wirtschaftlichen
und finanziellen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen
Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Angaben und Formalitäten,
die erforderlich sind,
um die Einhaltung der
Auflagen zur technischen
Leistungsfähigkeit zu
überprüfen
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur
ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den
folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
IHP-2020-057: AFM Upgrade 08.07.2020
UVGO Öffentliche Ausschreibung
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 4/5
08.07.2020 10:34 Uhr - VMS 9.2.1.1  2009 - 2020 cosinex GmbH
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:
Vom Unternehmen einzureichende Unterlagen
Keine Unterlagen einzureichen
Vergabeunterlagen
Bereitstellung der Vergabeunterlagen
Postalischer Versand Nein
Elektronisch Ja, mittels Vergabemarktplatz "VMP Brandenburg"
URL zu den
Auftragsunterlagen
https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQV/
documents
Zusätzliche Angaben über
die Maßnahmen zum Schutz
der Vertraulichkeit und der
Zugriffsmöglichkeit auf die
Vergabeunterlagen
Angebote
Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Beginn der Angebotsöffnung 30.07.2020 12:00 Uhr
Ort Frankfurt (Oder)
Angebotsabgabe
Art der akzeptierten
Angebote
Postalischer Versand
Elektronisch in Textform
URL zur Abgabe
elektronischer Angebote
https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYQV
Zugriff auf Preisdokumente
bis zur manuellen
Freigabe während der
Angebotsprüfung/-wertung
sperren (Zwei-Umschlags-
Verfahren)
Nein
Eingabemöglichkeiten
zu Angebotspreisen für
Unternehmen innerhalb des
Bietertools sperren
Nein
Nebenangebote
Nebenangebote werden nicht zugelassen.
Verfahren/Sonstiges
Angaben zum Verfahren
Sonstige Informationen für
Bieter/Bewerber
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz
Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den
Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren
informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie
müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich
geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet
haben.
IHP-2020-057: AFM Upgrade 08.07.2020
UVGO Öffentliche Ausschreibung
CSX 21 - Bekanntmachung Seite 5/5
08.07.2020 10:34 Uhr - VMS 9.2.1.1  2009 - 2020 cosinex GmbH
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für
das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig
- für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer
Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht
werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID CXSTYYDYYQV
Source: 4 https://www.bund.de/IMPORTE/Ausschreibungen/vmp-bb/2020/07/113225.html
Data Acquisition via: p8000000
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
 Phone: +49 6082-910101, Fax: +49 6082-910200, URL: http://www.icc-hofmann.de
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