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Ausschreibung: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) - DE-Würzburg
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Dokument Nr...: 559382-2023 (ID: 2023091809023960674)
Veröffentlicht: 18.09.2023
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  DE-Würzburg: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
   2023/S 179/2023 559382
   Freiwillige Ex-ante-Transparenzbekanntmachung
   Lieferauftrag
   Rechtsgrundlage:
   Richtlinie 2014/24/EU
   Abschnitt I: Öffentlicher Auftraggeber/Auftraggeber
   I.1)Name und Adressen
   Offizielle Bezeichnung: Julius-Maximilians-Universität Würzburg
   Postanschrift: Sanderring 2
   Ort: Würzburg
   NUTS-Code: DE263 Würzburg, Kreisfreie Stadt
   Postleitzahl: 97070
   Land: Deutschland
   Kontaktstelle(n): Referat 3.3 Einkauf
   E-Mail: [6]einkauf@uni-wuerzburg.de
   Internet-Adresse(n):
   Hauptadresse: [7]https://www.uni-wuerzburg.de/startseite/
   I.4)Art des öffentlichen Auftraggebers
   Andere: Universität
   I.5)Haupttätigkeit(en)
   Bildung
   Abschnitt II: Gegenstand
   II.1)Umfang der Beschaffung
   II.1.1)Bezeichnung des Auftrags:
   Elektronenstrahlbelichtungsanlage Technische Physik 2023
   II.1.2)CPV-Code Hauptteil
   38000000 Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer
   Gläser)
   II.1.3)Art des Auftrags
   Lieferauftrag
   II.1.4)Kurze Beschreibung:
   Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat
   Bayern (Auftraggeber)  hier vertreten durch die
   Julius-Maximilians-Universität Würzburg  die Beschaffung einer
   Elektronenstrahlbelichtungsanlage für den Lehrstuhl für Technische
   Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg gemäß dem
   Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
   II.1.6)Angaben zu den Losen
   Aufteilung des Auftrags in Lose: nein
   II.1.7)Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.)
   Wert ohne MwSt.: 2 055 000.00 EUR
   II.2)Beschreibung
   II.2.3)Erfüllungsort
   NUTS-Code: DE263 Würzburg, Kreisfreie Stadt
   II.2.4)Beschreibung der Beschaffung:
   Im Rahmen des vorliegenden Vergabeverfahrens vergibt der Freistaat
   Bayern (Auftraggeber)  hier vertreten durch die
   Julius-Maximilians-Universität Würzburg  die Beschaffung einer
   Elektronenstrahlbelichtungsanlage für den Lehrstuhl für Technische
   Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg gemäß dem
   Leistungsverzeichnis des Verfahrens.
   II.2.5)Zuschlagskriterien
   Preis
   II.2.11)Angaben zu Optionen
   Optionen: nein
   II.2.13)Angaben zu Mitteln der Europäischen Union
   Der Auftrag steht in Verbindung mit einem Vorhaben und/oder Programm,
   das aus Mitteln der EU finanziert wird: nein
   II.2.14)Zusätzliche Angaben
   Abschnitt IV: Verfahren
   IV.1)Beschreibung
   IV.1.1)Verfahrensart
   Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung
     * Die Bauleistungen/Lieferungen/Dienstleistungen können aus folgenden
       Gründen nur von einem bestimmten Wirtschaftsteilnehmer ausgeführt
       werden:
          + nicht vorhandener Wettbewerb aus technischen Gründen
   Erläuterung:
   Für die Erfüllung der Projektarbeiten im Projekt MHLASQU ist die
   Anschaffung einer Elektronenstrahl-Belichtungsanlage für die
   Lithographie von kleinsten Strukturen bis wenige nm notwendig. Das
   Gerät muss akkurat Belichtungen bei unterschiedlichen Lacken und
   Lackdicken und bei unterschiedlichen Materialien durchführen können.
   Das Gerät muss folgende Eigenschaften und Spezifikationen aufweisen:
   1. Das System muss ein 100kV-Lithographie-System mit einer extrem
   schnellen Schreibzeit von 125 MHz und bis zu 200 nA erlauben.
   2. Das System muss über zahlreiche Softwarefunktionen (Auto: Fokus,
   Deflection Correction, Distortion Correction; Position Drift
   Correction, Dose Correction, Mark Detection. Dynamic Focus Correction,
   Dynamic Astigmatism Correction, etc.) verfügen.
   3. Das System muss über einen minimalen Strahldurchmesser von 2 nm,
   eine minimale Linienbreite von unter 8 nm und eine sogen. Field
   Stitching und Overlay Accuracy von unter  ±9nm bei einem 100 m Feld
   bzw.  ±20nm bei einem 1 mm Feld erreichen.
   4. Die maximale Ablenkfläche muss 1mm x 1mm sein.
   5. Das System muss mit Elektronen Detektoren ausgestattet sein.
   6. Das System muss über einen automatischen Aperturwechsler verfügen.
   7. Das System muss über ein Linsensystem speziell für flexible
   Anwendungen mit einem hochauflösenden und einem hohen Probendurchsatz
   besitzen.
   8. Das System muss über ein Laserinterferometer-gesteuerte Probenbühne
   mit Positionsmessgenauigkeit von 0,15 nm besitzen.
   Nur der Anbieter Jeol kann alle Punkte erfüllen.
   IV.1.3)Angaben zur Rahmenvereinbarung
   IV.1.8)Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)
   Der Auftrag fällt unter das Beschaffungsübereinkommen: nein
   IV.2)Verwaltungsangaben
   Abschnitt V: Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
   V.2)Auftragsvergabe/Konzessionsvergabe
   V.2.1)Tag der Zuschlagsentscheidung:
   11/09/2023
   V.2.2)Angaben zu den Angeboten
   Der Auftrag wurde an einen Zusammenschluss aus Wirtschaftsteilnehmern
   vergeben: nein
   V.2.3)Name und Anschrift des Auftragnehmers/Konzessionärs
   Offizielle Bezeichnung: JEOL Germany GmbH
   Ort: Freising
   NUTS-Code: DE21B Freising
   Land: Deutschland
   Der Auftragnehmer/Konzessionär wird ein KMU sein: ja
   V.2.4)Angaben zum Wert des Auftrags/Loses/der Konzession (ohne MwSt.)
   Gesamtwert des Auftrags/des Loses/der Konzession: 2 055 000.00 EUR
   V.2.5)Angaben zur Vergabe von Unteraufträgen
   Abschnitt VI: Weitere Angaben
   VI.3)Zusätzliche Angaben:
   VI.4)Rechtsbehelfsverfahren/Nachprüfungsverfahren
   VI.4.1)Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren
   Offizielle Bezeichnung: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer
   Nordbayern
   Postanschrift: Promenade 27
   Ort: Ansbach
   Postleitzahl: 91522
   Land: Deutschland
   VI.4.3)Einlegung von Rechtsbehelfen
   Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen:
   Der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig,
   soweit nicht nach Maßgabe des § 160 Abs. 3 GWB Verstöße gegen
   Vergabevorschriften innerhalb der in § 160 Abs. 3 Nrn. 1  3 GWB
   genannten Fristen gerügt worden sind. Rügen sind an die Vergabestelle
   zu richten:
   Julius-Maximilians-Universität Würzburg
   Referat 3.3 Einkauf
   Sanderring 2
   97070 Würzburg
   Email: [8]einkauf@uni-wuerzburg.de
   Die Julius-Maximilians-Universität Würzburg wird schriftlich mitteilen,
   ob einer Rüge abgeholfen wird.
   Wird einer Rüge nicht abgeholfen, so ist ein Antrag auf Einleitung
   eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig, soweit mehr als 15
   Kalendertage nach Eingang der Mitteilung der
   Julius-Maximilians-Universität Würzburg, einer Rüge nicht abhelfen zu
   wollen, vergangen sind. Der Antrag auf Einleitung eines
   Nachprüfungsverfahrens ist schriftlich bei der Vergabekammer (s. Nr. 9)
   einzureichen und unverzüglich zu begründen.
   Sofortige Beschwerde (§ 171 GWB)
   Gegen Entscheidungen der Vergabekammer ist die sofortige Beschwerde
   zulässig (§ 171 Abs. 1 GWB). Die sofortige Beschwerde ist auch
   zulässig, wenn die Vergabekammer über einen Nachprüfungsantrag nicht
   innerhalb der Frist des § 167 Abs. 1 GWB entschieden hat (§ 167 Abs. 2
   GWB). Die sofortige Beschwerde ist binnen einer Notfrist von zwei
   Wochen, die mit der Zustellung der Entscheidung, im Fall des § 167 Abs.
   2 GWB mit dem Ablauf der Frist beginnt, schriftlich bei dem
   Beschwerdegericht einzulegen. Die sofortige Beschwerde ist zugleich mit
   ihrer Einlegung zu begründen. Für die sofortige Beschwerde ist das
   Oberlandesgericht München  Vergabesenat zuständig, der darüber
   entscheidet.
   Auf die Präklusionsvorschrift des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen.
   VI.4.4)Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen
   erteilt
   Offizielle Bezeichnung: Referat 3.3 Einkauf,
   Julius-Maximilians-Universität Würzburg
   Postanschrift: Sanderring 2
   Ort: Würzburg
   Postleitzahl: 97070
   Land: Deutschland
   VI.5)Tag der Absendung dieser Bekanntmachung:
   13/09/2023
References
   6. mailto:einkauf@uni-wuerzburg.de?subject=TED
   7. https://www.uni-wuerzburg.de/startseite/
   8. mailto:einkauf@uni-wuerzburg.de?subject=TED
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             Database Operation & Alert Service (icc-hofmann) for:
       The Office for Official Publications of the European Communities
                The Federal Office of Foreign Trade Information
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