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31640000 - Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion
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DEU- 2025/S 165/2025 563507 Deutschland Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage OJ S 165/2025 29/08/2025 Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Lieferungen 1. Beschaffer 1.1. Beschaffer Offizielle Bezeichnung: Ludwig-Maximilians-Universität München E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de Rechtsform des Erwerbers: Öffentliches Unternehmen Tätigkeit des öffentlichen Auftraggebers: Bildung 2. Verfahren 2.1. Verfahren Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage Beschreibung: Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung Kennung des Verfahrens: bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 Interne Kennung: MQV-Plasma Verfahrensart: Offenes Verfahren Das Verfahren wird beschleunigt: nein 2.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 2.1.2. Erfüllungsort Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland 2.1.3. Wert Geschätzter Wert ohne MwSt.: 700 000,00 EUR 2.1.4. Allgemeine Informationen Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU vgv - 2.1.6. Ausschlussgründe Quellen der Ausschlussgründe: Bekanntmachung Korruption: Betrug: Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung: Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels: Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung: Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten: Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen: Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen: Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen: Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs: Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten: Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.: Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren: Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens: Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen: Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit: Zahlungsunfähigkeit: Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter: Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften: 5. Los 5.1. Los: LOT-0001 Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage Beschreibung: Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein. Interne Kennung: 0001 5.1.1. Zweck Art des Auftrags: Lieferungen Haupteinstufung (cpv): 31640000 Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 5.1.2. Erfüllungsort Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland 5.1.3. Geschätzte Dauer Laufzeit: 12 Monate 5.1.5. Wert Geschätzter Wert ohne MwSt.: 700 000,00 EUR 5.1.6. Allgemeine Informationen Die Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich Auftragsvergabeprojekt nicht aus EU-Mitteln finanziert Die Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: nein Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet: nein 5.1.7. Strategische Auftragsvergabe Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Keine strategische Beschaffung 5.1.9. Eignungskriterien Quellen der Auswahlkriterien: Bekanntmachung Kriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen Beschreibung: Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5). Kriterium: Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards Beschreibung: Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können. 5.1.10. Zuschlagskriterien Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde: Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt 5.1.11. Auftragsunterlagen Sprachen, in denen die Auftragsunterlagen offiziell verfügbar sind: Deutsch Internetadresse der Auftragsunterlagen: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards /dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 5.1.12. Bedingungen für die Auftragsvergabe Bedingungen für die Einreichung: Elektronische Einreichung: Erforderlich Adresse für die Einreichung: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off /bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch Elektronischer Katalog: Nicht zulässig Varianten: Nicht zulässig Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Zulässig Frist für den Eingang der Angebote: 29/09/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Frist, bis zu der das Angebot gültig sein muss: 39 Tage Informationen über die öffentliche Angebotsöffnung: Eröffnungsdatum: 29/09/2025 12:00:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Auftragsbedingungen: Die Auftragsausführung muss im Rahmen von Programmen für geschützte Beschäftigungsverhältnisse erfolgen: Nein Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich Aufträge werden elektronisch erteilt: nein Zahlungen werden elektronisch geleistet: nein 5.1.15. Techniken Rahmenvereinbarung: Keine Rahmenvereinbarung Informationen über das dynamische Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem Elektronische Auktion: nein 5.1.16. Weitere Informationen, Schlichtung und Nachprüfung Überprüfungsstelle: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern Informationen über die Überprüfungsfristen: (1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber /Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen. Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt: Ludwig- Maximilians-Universität München Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt: Ludwig-Maximilians-Universität München 8. Organisationen 8.1. ORG-0001 Offizielle Bezeichnung: Ludwig-Maximilians-Universität München Registrierungsnummer: 13316 Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1 Stadt: München Postleitzahl: 80539 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de Telefon: +49 8921803733 Internetadresse: https://www.deutsche-evergabe.de Profil des Erwerbers: https://www.deutsche-evergabe.de Rollen dieser Organisation: Beschaffer Organisation, die zusätzliche Informationen über das Vergabeverfahren bereitstellt Organisation, die Teilnahmeanträge entgegennimmt 8.1. ORG-0002 Offizielle Bezeichnung: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern Registrierungsnummer: 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e Postanschrift: Maximilianstr. 39 Stadt: München Postleitzahl: 80539 Land, Gliederung (NUTS): München, Kreisfreie Stadt (DE212) Land: Deutschland E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de Telefon: +49 8921762411 Rollen dieser Organisation: Überprüfungsstelle 8.1. ORG-0003 Offizielle Bezeichnung: Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) Registrierungsnummer: 0204:994-DOEVD-83 Stadt: Bonn Postleitzahl: 53119 Land, Gliederung (NUTS): Bonn, Kreisfreie Stadt (DEA22) Land: Deutschland E-Mail: noreply.esender_hub@bescha.bund.de Telefon: +49228996100 Rollen dieser Organisation: TED eSender Informationen zur Bekanntmachung Kennung/Fassung der Bekanntmachung: bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 - 01 Formulartyp: Wettbewerb Art der Bekanntmachung: Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung Standardregelung Unterart der Bekanntmachung: 16 Datum der Übermittlung der Bekanntmachung: 27/08/2025 11:10:00 (UTC+2) Osteuropäische Zeit, Mitteleuropäische Sommerzeit Sprachen, in denen diese Bekanntmachung offiziell verfügbar ist: Deutsch ABl. S Nummer der Ausgabe: 165/2025 Datum der Veröffentlichung: 29/08/2025 Referenzen: http://icc-hofmann.net/NewsTicker/202508/ausschreibung-563507-2025-DEU.txt |
